Comparative measurements on atomic layer deposited Al2O3 thin films using ex situ table top and mapping ellipsometry, as well as X-ray and VUV reflectometry

Megtekintés/ Megnyitás
Szerző
Petrik Péter
T. Gumprechte
A. Nutscha
Juhász György
Polgár Olivér
Major Csaba
Kozma Péter
Agócs Emil
Fried Miklós