Comparative measurements on atomic layer deposited Al2O3 thin films using ex situ table top and mapping ellipsometry, as well as X-ray and VUV reflectometry

Megtekintés/Megnyitás

092_petrik_peter_comparative_measurements.pdf (78.27KB)

Szerző

Petrik Péter

T. Gumprechte

A. Nutscha

Juhász György

Polgár Olivér

Major Csaba

Kozma Péter

Agócs Emil

Fried Miklós

Metadata

Teljes megjelenítés

URI

http://dtk.tankonyvtar.hu/xmlui/handle/123456789/6006

Collections

• Természettudomány